光刻機巨頭ASML：沒有向中國市場推出特別版光刻機
光刻機巨頭ASML：沒有向中國市場推出特別版光刻機
【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】
7月6日，針對“將向中國推出特供版DUV光刻機”的傳言，荷蘭光刻機巨頭ASML向觀察者網(wǎng)回應表示，“一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，我們并沒有面向中國市場推出特別版的光刻機”。
一周前，荷蘭政府正式宣布限制某些先進半導體設備出口的新規(guī)，這些規(guī)定將于9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點名會受到限制的公司，但外界都明白這是在針對當?shù)刈畛雒陌雽w設備公司ASML。
彼時，ASML回應觀察者網(wǎng)表示，根據(jù)新出口管制條例規(guī)定，該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發(fā)運最先進的浸潤式DUV系統(tǒng)（即TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證，并將向ASML提供許可證所附條件的細節(jié)。
ASML在聲明中重點指出，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統(tǒng)在此前已經(jīng)受到限制，其他系統(tǒng)的發(fā)運暫未受荷蘭政府管控。
ASML受出口管制的光刻機型號
在荷蘭政府宣布新的半導體出口管制條例后，中國駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應：荷蘭政府正式出臺半導體制造設備的出口管制措施，這是對出口管制措施的濫用，是對自由貿易和國際經(jīng)貿規(guī)則的嚴重背離，中方對此堅決反對。
“我們呼吁荷方從維護國際經(jīng)貿規(guī)則及中荷經(jīng)貿合作大局出發(fā)，立即糾正錯誤做法。中方將堅決維護自身合法權益。同時，也愿與荷方一道，本著互利互惠的原則，共同探討解決方案，共同推動中荷經(jīng)貿關系健康發(fā)展?！敝袊v荷蘭大使館發(fā)言人表示。
ASML方面也早就對出口管制做出過警示。今年2月，在接受歐洲媒體采訪時，ASML首席執(zhí)行官溫彼得直言，如果美國及其盟友切斷中國（大陸）獲得某些半導體和半導體制造技術的渠道，中國將被迫加倍努力開發(fā)自主技術。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應該被濫用，決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的復雜性。
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